온도 센서 사례 - 반도체 업계
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표면온도 센서 |
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● 제조물 |
배관 및 Hot/Cool Plate |
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● 용도 |
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배관의 온도 조절 및 Plate 온도 체크 |
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● 특징 |
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대상물에 센서를 붙여서 측정 |
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초 극세 센서 |
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● 제조물 |
각종 장치의 분석 기기 |
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● 용도 |
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틈세 없는 공간 및 아주 작은 공간의 온도 측정 |
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● 특징 |
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응답성이 뛰어나며, 정밀 온도 측정이 가능합니다. |
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테프론 파이프형 센서 |
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● 제조물 |
도금 및 세척 장치 |
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● 용도 |
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세척액 온도 측정 및 제어 |
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● 특징 |
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약물 침투 방지 및 수명이 길다. TE형, TA형, TH형. |
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석영관형 센서 (GE-PT) |
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● 제조물 |
도금 및 세척 장치 |
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● 용도 |
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세척액 온도 측정 및 제어 |
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● 특징 |
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석영관을 사용하고 있어서, 테프론 파이프형 보다 약물의 삼투성이 낮아집니다. 석영관 외부를 테프론 튜브로 보호하고 있어서, 사용중에 잘못 석영관이 파손되어도 파편이 비산할 일은 없습니다. |
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인라인 온도 센서 |
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● 제조물 |
도금 및 세척장치 |
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● 용도 |
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반도체나 프린트 기판등의 세척, 부식, 도금등의 약물라인에 사용 |
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● 특징 |
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양쪽끝을 이을수 있도록 구성되어 있으며, 교환이 쉽다. |
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